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刘德涛9107

银虫 (小有名气)

[求助] 原子层沉积系统换水后变得难以抽除

最近在使用原子层沉积系统,由于作为氧源的水用完了,就加了去离子水进去,结果现在水变得很难抽除,空跑了很多次都没用,不知道是什么样原因,有没有搞过这个设备的虫友,希望可以得到解答。谢谢!
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