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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » TMAH 腐蚀体硅 结果是各向同性
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博士_14

新虫 (初入文坛)

[交流] TMAH 腐蚀体硅 结果是各向同性 已有6人参与

用5%TMAH 在85°水浴加热，进行腐蚀体硅时，结果是各向同性。很奇怪啊。。。为什么会这样？
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1楼 2014-07-30 09:18:20
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exciting73

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
虽然有各向异性的作用，但腐蚀均匀度并不好。考虑下商品化蚀刻液吧，你是要腐蚀什么硅？
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2楼2014-07-30 14:18:59
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
用KOH试试
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3楼2014-07-30 17:53:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
无图无真相
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4楼2014-07-30 18:05:47
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有机碱好像就是各向同性的吧？无机碱是各向异性多一些
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5楼2014-07-31 12:57:30
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博士_14

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-07-30 14:18:59
虽然有各向异性的作用，但腐蚀均匀度并不好。考虑下商品化蚀刻液吧，你是要腐蚀什么硅？

就是腐蚀普通的硅片，高掺杂的，腐蚀出特定的图形
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6楼2014-07-31 14:18:35
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博士_14

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by quanten at 2014-07-30 17:53:30
用KOH试试

以前就研究过用KOH，好像效果不好
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7楼2014-07-31 14:26:46
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博士_14

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-07-30 18:05:47
无图无真相

硅片表面都是热sio2，点个小洞进行腐蚀，腐蚀效果出来，看侧蚀根本不是方形的
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8楼2014-07-31 14:30:50
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博士_14

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2014-07-31 12:57:30
有机碱好像就是各向同性的吧？无机碱是各向异性多一些

这个不一定的，我看过的所有文献都是说TMAH 是各向异性，应该是我配溶液出了问题吧
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9楼2014-07-31 14:33:04
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
重掺杂的是各向同性
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10楼2014-07-31 15:24:31
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