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zhangying686

铜虫 (小有名气)

[交流] 求助:用台阶仪测薄膜厚度

请问哪位大虾知道用台阶仪测量薄膜厚度的原理、优缺点等相关知识,我在做一个PPT,急用,谢谢你的回复!!
[search]台阶仪测膜厚[/search]

[ Last edited by 江南豪情 on 2008-4-6 at 12:33 ]
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miloyy

木虫 (正式写手)

原理很简单,至少我们这里用的是这样,跟AFM差不多。
首先你必须人为的做一个台阶,比如沉积薄膜的时候盖住一个角落。测量厚度的时候,就是针尖在你的样品表面滑动,在这个过程,利用一个反馈信号使在扫描过程中,针尖施加在样品上的力维持恒定,这样台阶的轮廓就勾勒出来了。
当然这个力非常小,我们这里用的是几个毫克,除非你的样品很软,否则不会破坏样品表面。
4楼2008-04-06 22:15:36
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匿名

用户注销 (正式写手)

本帖仅楼主可见
2楼2008-04-06 11:39:30
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zhangying686

铜虫 (小有名气)

噢,还是要谢谢哦,他回来了能不能让他给俺说说阿,简单的就行,
3楼2008-04-06 20:46:53
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enquan123

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by miloyy at 2008-4-6 22:15:
原理很简单,至少我们这里用的是这样,跟AFM差不多。
首先你必须人为的做一个台阶,比如沉积薄膜的时候盖住一个角落。测量厚度的时候,就是针尖在你的样品表面滑动,在这个过程,利用一个反馈信号使在扫描过程中 ...

正解!!!
No matter what I do,I always forget to forget you...
5楼2008-04-06 22:31:23
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