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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 求助：用台阶仪测薄膜厚度
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zhangying686

铜虫 (小有名气)

[交流] 求助：用台阶仪测薄膜厚度

请问哪位大虾知道用台阶仪测量薄膜厚度的原理、优缺点等相关知识，我在做一个PPT，急用，谢谢你的回复！！
[search]台阶仪测膜厚[/search]

[ Last edited by 江南豪情 on 2008-4-6 at 12:33 ]
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1楼 2008-04-06 10:53:55
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匿名

用户注销 (正式写手)
本帖仅楼主可见
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2楼2008-04-06 11:39:30
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zhangying686

铜虫 (小有名气)
噢，还是要谢谢哦，他回来了能不能让他给俺说说阿，简单的就行，
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3楼2008-04-06 20:46:53
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miloyy

木虫 (正式写手)
原理很简单，至少我们这里用的是这样，跟AFM差不多。
首先你必须人为的做一个台阶，比如沉积薄膜的时候盖住一个角落。测量厚度的时候，就是针尖在你的样品表面滑动，在这个过程，利用一个反馈信号使在扫描过程中，针尖施加在样品上的力维持恒定，这样台阶的轮廓就勾勒出来了。
当然这个力非常小，我们这里用的是几个毫克，除非你的样品很软，否则不会破坏样品表面。
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4楼2008-04-06 22:15:36
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enquan123

金虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by miloyy at 2008-4-6 22:15:
原理很简单，至少我们这里用的是这样，跟AFM差不多。
首先你必须人为的做一个台阶，比如沉积薄膜的时候盖住一个角落。测量厚度的时候，就是针尖在你的样品表面滑动，在这个过程，利用一个反馈信号使在扫描过程中 ...

正解！！！
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No matter what I do,I always forget to forget you...
5楼2008-04-06 22:31:23
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zhangying686

铜虫 (小有名气)
谢谢各位兄弟了！
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6楼2008-04-07 10:59:04
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kowlnay

铜虫 (小有名气)
4楼+1，我有PPT，要不要？
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瑞士CSM公司（表面力学测试）
7楼2011-08-18 09:18:52
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