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cly2810

金虫 (正式写手)

[求助] MS面板提示错误信息是什么意思

MSD fault stastus
dec 128   hex 80
一般四级杆和离子源设置温度是多少?我们四级杆是150,离子源是230


涡轮泵和叶片泵是一个么???

下图是抽真空的时候查看真空状态的情况

MS面板提示错误信息是什么意思
P40722-154110.jpg
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cly2810

金虫 (正式写手)

后来我把工作站关了再打开,就成了dec  0 ,hex 0
难道这就是解决之道?
2楼2014-07-22 21:55:06
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