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MS面板提示错误信息是什么意思
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MSD fault stastus dec 128 hex 80 一般四级杆和离子源设置温度是多少?我们四级杆是150,离子源是230 涡轮泵和叶片泵是一个么??? 下图是抽真空的时候查看真空状态的情况 P40722-154110.jpg |
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