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MS面板提示错误信息是什么意思
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MSD fault stastus dec 128 hex 80 一般四级杆和离子源设置温度是多少？我们四级杆是150，离子源是230 涡轮泵和叶片泵是一个么？？？ 下图是抽真空的时候查看真空状态的情况  P40722-154110.jpg |
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2楼2014-07-22 21:55:06