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太阳能电池片 制造过程中扩散时 源磷~三氯氧磷发黄
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liudenghe
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太阳能电池片 制造过程中扩散时 源磷~三氯氧磷发黄
已有1人参与
太阳能电池片 制造过程 扩散时 源磷~三氯氧磷连续发黄 , 排除来料问题,和大氮 小氮 氧气 或者石英管卫生哪个有关呢,具体反应是什么呢?拜谢!
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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心有梦,行无疆
1楼
2014-07-22 11:39:41
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yeah_bao
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liudenghe: 金币+10,
★
有帮助
2014-08-27 23:50:34
有可能是通入氧气的量不对,生成了PCl5
POCl3---PCl5+P2O5
建议:
1.检查通入氧气的工艺是否正确
2.检查氧气的管路是否漏气
3.检查扩散炉的密封情况
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2014-08-27 10:12:48
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liudenghe
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2楼
:
Originally posted by
yeah_bao
at 2014-08-27 10:12:48
有可能是通入氧气的量不对,生成了PCl5
POCl3---PCl5+P2O5
建议:
1.检查通入氧气的工艺是否正确
2.检查氧气的管路是否漏气
3.检查扩散炉的密封情况
已经确认原因了,这批源磷密封处金属氧化与源接触导致的。
[ 发自小木虫客户端 ]
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心有梦,行无疆
3楼
2014-08-27 23:52:20
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雨林2010
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专业: 半导体材料
均一性可以控制好吗?
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岁月你别催,该来的我不会推;岁月你别催,走远的仍要追。
4楼
2016-03-16 10:13:49
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专业: 电化学
目前有P2O5源,水系和有机体系都有。可以私信,
ssbn333@sina.com
。
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5楼
2021-08-19 13:55:26
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