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liudenghe

金虫 (小有名气)

[求助] 太阳能电池片 制造过程中扩散时 源磷~三氯氧磷发黄 已有1人参与

太阳能电池片  制造过程 扩散时  源磷~三氯氧磷连续发黄 ,  排除来料问题,和大氮 小氮 氧气 或者石英管卫生哪个有关呢,具体反应是什么呢?拜谢!

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心有梦,行无疆
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yeah_bao

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liudenghe: 金币+10, 有帮助 2014-08-27 23:50:34
有可能是通入氧气的量不对,生成了PCl5
POCl3---PCl5+P2O5
建议:
1.检查通入氧气的工艺是否正确
2.检查氧气的管路是否漏气
3.检查扩散炉的密封情况
2楼2014-08-27 10:12:48
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liudenghe

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yeah_bao at 2014-08-27 10:12:48
有可能是通入氧气的量不对,生成了PCl5
POCl3---PCl5+P2O5
建议:
1.检查通入氧气的工艺是否正确
2.检查氧气的管路是否漏气
3.检查扩散炉的密封情况

已经确认原因了,这批源磷密封处金属氧化与源接触导致的。

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心有梦,行无疆
3楼2014-08-27 23:52:20
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雨林2010

铁杆木虫 (职业作家)

酱油批发户

均一性可以控制好吗?
岁月你别催,该来的我不会推;岁月你别催,走远的仍要追。
4楼2016-03-16 10:13:49
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核潜艇

新虫 (小有名气)

目前有P2O5源,水系和有机体系都有。可以私信,ssbn333@sina.com
5楼2021-08-19 13:55:26
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