应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 制备原子级别平坦度的Si100表面
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1908  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

小雨南

银虫 (小有名气)

[交流] 制备原子级别平坦度的Si100表面 已有5人参与

小女子做所谓的 单原子光刻技术相关的课题
    简单的说 就是在原子级别平坦的H终端的Si表面，用STM的探针单独的把1个或几个氢原子脱离掉，然后再跟PH4反应，因为只有裸露的Si的位置才能与之反应。所以就能单独的把一个P原子的前身嵌入到Si表面中。
    然后再退火，因为PH3的H和H终端的H的退火温度不一样，所以H终端可以当做光刻技术的MASK。
    H原子全部脱离掉之后，再外延生长Si，这样就把单个P原子精确的嵌入到Si基板中了。

    目前研究生阶段，只做到研究STM探针的电压 电流 时间与H原子脱离面积的相关性研究就可以了。
    所以第一个问题就是制备 原子级别平坦度的H-Si（100）。
    大多数论文都是用flash的方法，直接跟H2反应。这个我们设备做不到，而且比较危险，所以就无视了。
    另一种是化学腐蚀法，先行研究成功的例子都是用Si111面。Si100面还没有特别成功的例子。
    不过，其实所谓的不成功的例子是指没有大规模的制备出来，我想想 我也用不到大规模的，只要很小部分够平坦就可以了。所以想想，还是可行的。

    不知道大家有没有什么经验呐~~~~~~我仅仅是从论文看到的方法，理想跟现实是有差距的。

   PS 论文中最成功的例子是 用NH4F溶液，并且N2注入溶液来清除溶存的O2。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

uicorn3

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-07-15 09:49:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

a370910527

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
好专业的说...   敢问 LZ 用你的方法可否对已制成硅片的表面粗糙度进行优化？
赞一下 回复此楼
4楼2014-07-15 21:09:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

pengyingjing

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
好专业，Si(100)面都在外面，有什么更好的性能吗？
赞一下 回复此楼
2楼2014-07-15 11:07:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小雨南

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pengyingjing at 2014-07-15 12:07:53
好专业，Si(100)面都在外面，有什么更好的性能吗？

一般的半导体器件都是用100面的~~貌似~~·
赞一下 回复此楼
3楼2014-07-15 13:44:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小雨南

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by a370910527 at 2014-07-15 22:09:17
好专业的说...   敢问 LZ 用你的方法可否对已制成硅片的表面粗糙度进行优化？

母鸡呀~~~~~~~~
回复此楼
5楼2014-07-16 13:01:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703求调剂383分 +8 W55j 2026-04-03 8/400 2026-04-04 20:09 by xhai2011
[考研] 调剂 +7 熊二想上岸 2026-04-04 7/350 2026-04-04 16:16 by dongzh2009
[考研] 一志愿0817化学工程与技术，求调剂 +24 我不是只因 2026-04-02 28/1400 2026-04-04 15:15 by dongzh2009
[考研] 22408求调剂 354分 可跨专业 +3 hannnnnnn 2026-04-04 3/150 2026-04-04 14:35 by 土木硕士招生
[考研] 309求调剂 +6 刘刘刘1231 2026-04-02 7/350 2026-04-04 13:41 by liucky
[考研] 土木304求调剂 +4 兔突突突， 2026-03-31 4/200 2026-04-04 13:34 by 1753564080
[考研] 070300化学求调剂 +16 小黄鸭宝 2026-03-30 16/800 2026-04-04 11:49 by asdhh1991
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358 +6 cs0106 2026-04-03 6/300 2026-04-04 11:20 by w_xuqing
[考研] 288求调剂 一志愿哈工大 材料与化工 +12 洛神哥哥 2026-04-03 12/600 2026-04-04 09:22 by 有机小民工
[考研] 260求调剂 +3 朱芷琳 2026-04-02 3/150 2026-04-03 08:44 by yulian1987
[考研] 化学070300-总分378-求调剂 +5 挪椅子的泡泡糖 2026-04-02 5/250 2026-04-02 22:20 by ZXlzxl0425
[考研] 材料340分调剂 +7 夏夜晚风_long 2026-04-02 9/450 2026-04-02 21:20 by dongzh2009
[考研] 土木304求调剂 +4 兔突突突， 2026-04-02 5/250 2026-04-02 21:16 by 兔突突突，
[考研] 286分调剂 +20 Faune 2026-03-30 22/1100 2026-04-02 13:24 by clyblh
[考研] 一志愿北京科技大学085601材料工程英一数二初试总分335求调剂 +9 双马尾痞老板2 2026-04-01 9/450 2026-04-02 12:14 by oooqiao
[考研] 272求调剂，接受跨专业调剂！ +4 闲鱼卢 2026-03-31 4/200 2026-04-02 11:18 by guyan1000
[考研] 354求调剂 +4 lxb598 2026-03-31 5/250 2026-04-02 09:55 by Jaylen.
[考研] 348环境工程调剂 +3 吴彦祖24k 2026-04-01 3/150 2026-04-02 09:14 by nanaliuyun
[考研] 265求调剂 +11 yelck 2026-04-01 12/600 2026-04-01 19:12 by 549790059
[考研] 一志愿中海洋材料357 +4 麦恩莉. 2026-03-30 4/200 2026-03-31 14:35 by 记事本2026
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭