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yhp1008

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】活化能怎么求?

根据阿伦尼乌斯公式
k=Aexp(-E/RT)可以作出速率常数和1/T的曲线,从而求出活化能。但是看到有文献报道,可以根据腐蚀速率和薄膜生长速率和1/T的曲线可以求出活化能,我就不明白其中的原理,请高手指点,附件就是根据硅片表面的腐蚀速率算出活化能的。

[ Last edited by SHY31 on 2008-5-5 at 22:21 ]
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dnangelhj

铁杆木虫 (著名写手)

个人认为,腐蚀对应于分解过程,而薄膜生长类似于结晶生长过程。既然热分解和结晶动力学都可以用该法测活化能,那么类似地,腐蚀速率和薄膜生长速率也可以用于测这两种过程的活化能
5楼2008-05-05 16:49:06
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wx10502

银虫 (小有名气)

k=Aexp(-E/RT)可以两边同时求对数,lnk=lnA-E/RT,其中画出的直线的截距就是lnA,斜率就是-E/R,R是常数为8.314,找出斜率就可以求E了!
做我自己!
2楼2008-04-03 10:58:07
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yhp1008

铁杆木虫 (正式写手)

这个我知道,问题是根据腐蚀速率和薄膜生长速率怎么求出活化能?
3楼2008-04-03 15:14:53
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dnangelhj

铁杆木虫 (著名写手)

原文呢?文中没有说明么?
4楼2008-05-05 16:42:06
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