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yhp1008铁杆木虫 (正式写手)
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【请教】活化能怎么求？
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根据阿伦尼乌斯公式 k=Aexp(-E/RT)可以作出速率常数和1/T的曲线，从而求出活化能。但是看到有文献报道，可以根据腐蚀速率和薄膜生长速率和1/T的曲线可以求出活化能，我就不明白其中的原理，请高手指点，附件就是根据硅片表面的腐蚀速率算出活化能的。 [ Last edited by SHY31 on 2008-5-5 at 22:21 ] |
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