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XIEFUANFUAN

银虫 (小有名气)

[求助] 关于六氯化钨高温处理危险性 已有1人参与

大家好!
我最近想要使用六氯化钨,并在H2和Ar的混合气体中升温至1000℃,由于六氯化钨易在空气中易于水反应而被氧化,如果在这种高温条件下处理六氯化钨应该是容易被还原的,但是这个过程中会有危险吗?会不会剧烈反应等。。。为了安全,还是来请教一下大家。
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jiagle

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【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by 公子羽s at 2017-01-05 16:11:07
谢谢,通过载气鼓泡是不是整个输气管道都要加热,要不然会凝结在输气管上呢?...

你做CVD需要那么高浓度吗?一般都是再度用载气稀释的。
8楼2017-01-05 18:45:03
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jiagle

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
XIEFUANFUAN: 金币+4, ★★★很有帮助 2014-07-14 19:22:58
1、WCl6是共价化合物,常温下虽然是固体,但却易升华,在1000度这样的高温早就变为气体了。
2、WCl6的危险性还是在与水(/蒸气)接触而水解(不会被氧化),而释放出有毒气体HCl。
3、如果在高温下用H2还原,发生的也只是气相反应,浓度也不可能高,反应也远谈不上剧烈。除了有毒气体泄漏方面的安全性隐患外,没有别的危险。因此只要保证系统的气密性以及尾气处理外,没有别的安全问题。
2楼2014-07-11 08:34:04
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XIEFUANFUAN

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jiagle at 2014-07-11 08:34:04
1、WCl6是共价化合物,常温下虽然是固体,但却易升华,在1000度这样的高温早就变为气体了。
2、WCl6的危险性还是在与水(/蒸气)接触而水解(不会被氧化),而释放出有毒气体HCl。
3、如果在高温下用H2还原,发生 ...

谢谢您!
更好的
3楼2014-07-14 19:23:18
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公子羽s

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jiagle at 2014-07-11 08:34:04
1、WCl6是共价化合物,常温下虽然是固体,但却易升华,在1000度这样的高温早就变为气体了。
2、WCl6的危险性还是在与水(/蒸气)接触而水解(不会被氧化),而释放出有毒气体HCl。
3、如果在高温下用H2还原,发生 ...

您好,请教个问题,我最近看文献有人用WCl6做气相沉积CVD,但是WCl6是固态,怎么能变成气态通进去呢?(是加热蒸发吗)谢谢
4楼2017-01-05 10:53:30
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jiagle

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【答案】应助回帖


冰点降温: 金币+1, 谢谢专家解答,辛苦了。 2017-01-05 15:48:18
引用回帖:
4楼: Originally posted by 公子羽s at 2017-01-05 10:53:30
您好,请教个问题,我最近看文献有人用WCl6做气相沉积CVD,但是WCl6是固态,怎么能变成气态通进去呢?(是加热蒸发吗)谢谢...

WCl6的蒸气压还是较高的,只要适当提温成液体,再通过载气鼓泡就可以了。
5楼2017-01-05 13:52:21
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公子羽s

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by jiagle at 2017-01-05 13:52:21
WCl6的蒸气压还是较高的,只要适当提温成液体,再通过载气鼓泡就可以了。...

谢谢您,这样是不是不好控制流量大小?打算沉积WC用氟化钨是不是也可以,直接可以用气态的
6楼2017-01-05 16:04:45
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公子羽s

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by jiagle at 2017-01-05 13:52:21
WCl6的蒸气压还是较高的,只要适当提温成液体,再通过载气鼓泡就可以了。...

谢谢,通过载气鼓泡是不是整个输气管道都要加热,要不然会凝结在输气管上呢?
7楼2017-01-05 16:11:07
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jiagle

专家顾问 (知名作家)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 公子羽s at 2017-01-05 16:04:45
谢谢您,这样是不是不好控制流量大小?打算沉积WC用氟化钨是不是也可以,直接可以用气态的...

氟化物也可以,只是需要的还原剂更强一些。
9楼2017-01-05 18:46:21
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公子羽s

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by jiagle at 2017-01-05 18:46:21
氟化物也可以,只是需要的还原剂更强一些。...

哦哦,谢谢
10楼2017-01-05 19:24:02
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