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彬彬3028

木虫 (正式写手)

[求助] Bi2Te3退火 已有2人参与

请教Bi2Te3薄膜退火气氛怎么选择,各有什么影响?主要是大气和N2条件下的对比。或者Ar下。
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justdoit
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
彬彬3028: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-07-14 09:57:25
空气气氛下薄膜会发生氧化;氮气气氛下的薄膜也可能与其发生反应。高温下氧、氮原子也会向深层扩散,影响薄膜性能。但在氩气气氛下薄膜会得到很好的保护。
3楼2014-07-10 13:41:03
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zzkejing

禁虫 (正式写手)


感谢参与,应助指数 +1
彬彬3028: 金币+1, 有帮助 2014-07-14 09:57:54
本帖内容被屏蔽

2楼2014-07-10 13:15:07
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彬彬3028

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-07-10 13:41:03
空气气氛下薄膜会发生氧化;氮气气氛下的薄膜也可能与其发生反应。高温下氧、氮原子也会向深层扩散,影响薄膜性能。但在氩气气氛下薄膜会得到很好的保护。

请问在加热过程中Ar气是不是要一直通着?
justdoit
4楼2014-07-14 09:56:38
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
4楼: Originally posted by 彬彬3028 at 2014-07-14 09:56:38
请问在加热过程中Ar气是不是要一直通着?...

应该是一直以一定流量通着的。
5楼2014-07-14 15:49:36
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