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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » Bi2Te3退火
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彬彬3028

木虫 (正式写手)

[求助] Bi2Te3退火 已有2人参与

请教Bi2Te3薄膜退火气氛怎么选择，各有什么影响？主要是大气和N2条件下的对比。或者Ar下。
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justdoit
1楼 2014-07-10 09:34:54
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zzkejing

禁虫 (正式写手)
★
感谢参与，应助指数 +1
彬彬3028: 金币+1, ★有帮助 2014-07-14 09:57:54
本帖内容被屏蔽
2楼2014-07-10 13:15:07
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
彬彬3028: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-07-14 09:57:25
空气气氛下薄膜会发生氧化；氮气气氛下的薄膜也可能与其发生反应。高温下氧、氮原子也会向深层扩散，影响薄膜性能。但在氩气气氛下薄膜会得到很好的保护。
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3楼2014-07-10 13:41:03
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彬彬3028

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-07-10 13:41:03
空气气氛下薄膜会发生氧化；氮气气氛下的薄膜也可能与其发生反应。高温下氧、氮原子也会向深层扩散，影响薄膜性能。但在氩气气氛下薄膜会得到很好的保护。

请问在加热过程中Ar气是不是要一直通着？
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justdoit
4楼2014-07-14 09:56:38
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
4楼: Originally posted by 彬彬3028 at 2014-07-14 09:56:38
请问在加热过程中Ar气是不是要一直通着？...

应该是一直以一定流量通着的。
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5楼2014-07-14 15:49:36
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彬彬3028

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2014-07-14 15:49:36
应该是一直以一定流量通着的。...

谢谢！
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justdoit
6楼2014-07-17 09:21:02
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