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liaofang20银虫 (小有名气)
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铝靶为什么会打成这样？
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我用直流溅射铝，以前用的好好的，最近就是开不起来。开的时候气压波动好大，且靶表面打火，即使用很小的电流溅射很久了还是打火，而且装靶前用砂纸把表面打磨了一遍。把靶拆下来后就成这样了，如图。什么原因会导致靶这样？ IMAG1570.jpg  IMAG1569.jpg |
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5楼2014-07-08 14:51:40
zxmorphology
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peterflyer 
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