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theoldboy新虫 (正式写手)
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椭圆偏振光谱仪运用Deltapsi2软件模
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| 各位大神，我是今年研一的小师弟，我做的是层层组装有机无机复合薄膜材料，基底是硅片，对于HORIBA JOBIAN YVON UVISEL 的椭圆偏振光谱仪，运用Deltapsi2软件模拟，，运用Cauchy’s Absorbent模式测量膜厚度的时候，发现刚开始几层，拟合的偏差比较小，到后来十几层之后，偏差比较大，我尝试修改柯西方程的参数，步长等，但是发现对于偏差没有什么明显的改变。我用的是HORIBA JOBIN YVON的椭偏仪，使用的扫面波长范围是600--800nm。补充说明一下，是不是因为随着薄膜的厚度增加之后，透光性没有之前那么好，光的散射对测定的影响比较大了导致的拟合偏差。那么我用柯西吸收的模型运算，拟合偏差较小，那么这种结果是否可靠？ |
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theoldboy
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不好意思，今天才看到。说实话，我并没有解决我的困惑。柯西透射和柯西吸收模式都试过了的，最后是只要拟合曲线与实际的点偏差很小，大概是小于0.2左右吧，就按照拟合出来的数据记录了。后来厚度较大的膜，我是做扫描电镜看的断面厚度。如果太薄的膜 比如说几个纳米到几十纳米的 我个人感觉椭偏仪拟合出来的结果还是比较靠谱的，你可以做AFM扫描划痕验证一下。实际上，对于我做的膜，有时候拟合偏差值都很小，但是当你把柯西参数A,B值稍微改变一点点，计算出来的膜厚度差距比较大。 发自小木虫Android客户端 |
5楼2016-09-02 12:54:59
