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theoldboy

新虫 (正式写手)

[求助] 椭圆偏振光谱仪运用Deltapsi2软件模

各位大神,我是今年研一的小师弟,我做的是层层组装有机无机复合薄膜材料,基底是硅片,对于HORIBA JOBIAN YVON UVISEL 的椭圆偏振光谱仪,运用Deltapsi2软件模拟,,运用Cauchy’s Absorbent模式测量膜厚度的时候,发现刚开始几层,拟合的偏差比较小,到后来十几层之后,偏差比较大,我尝试修改柯西方程的参数,步长等,但是发现对于偏差没有什么明显的改变。我用的是HORIBA JOBIN YVON的椭偏仪,使用的扫面波长范围是600--800nm。补充说明一下,是不是因为随着薄膜的厚度增加之后,透光性没有之前那么好,光的散射对测定的影响比较大了导致的拟合偏差。那么我用柯西吸收的模型运算,拟合偏差较小,那么这种结果是否可靠?
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theoldboy

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 雪砚1 at 2016-09-01 14:49:07
请问你是哪个学校的?你那有椭圆偏振光谱仪?

石油大学 华东的

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4楼2016-09-02 12:39:24
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Aq正传

新虫 (初入文坛)

你好,请问下你的数落拟合问题是怎么解决的

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2楼2016-07-06 18:26:00
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雪砚1

新虫 (初入文坛)

请问你是哪个学校的?你那有椭圆偏振光谱仪?
3楼2016-09-01 14:49:07
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theoldboy

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Aq正传 at 2016-07-06 18:26:00
你好,请问下你的数落拟合问题是怎么解决的

不好意思,今天才看到。说实话,我并没有解决我的困惑。柯西透射和柯西吸收模式都试过了的,最后是只要拟合曲线与实际的点偏差很小,大概是小于0.2左右吧,就按照拟合出来的数据记录了。后来厚度较大的膜,我是做扫描电镜看的断面厚度。如果太薄的膜 比如说几个纳米到几十纳米的 我个人感觉椭偏仪拟合出来的结果还是比较靠谱的,你可以做AFM扫描划痕验证一下。实际上,对于我做的膜,有时候拟合偏差值都很小,但是当你把柯西参数A,B值稍微改变一点点,计算出来的膜厚度差距比较大。

发自小木虫Android客户端
5楼2016-09-02 12:54:59
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