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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 交流互助 » 椭圆偏振光谱仪运用Deltapsi2软件模
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theoldboy

新虫 (正式写手)

[求助] 椭圆偏振光谱仪运用Deltapsi2软件模

各位大神，我是今年研一的小师弟，我做的是层层组装有机无机复合薄膜材料，基底是硅片，对于HORIBA JOBIAN YVON UVISEL 的椭圆偏振光谱仪，运用Deltapsi2软件模拟，，运用Cauchy’s Absorbent模式测量膜厚度的时候，发现刚开始几层，拟合的偏差比较小，到后来十几层之后，偏差比较大，我尝试修改柯西方程的参数，步长等，但是发现对于偏差没有什么明显的改变。我用的是HORIBA JOBIN YVON的椭偏仪，使用的扫面波长范围是600--800nm。补充说明一下，是不是因为随着薄膜的厚度增加之后，透光性没有之前那么好，光的散射对测定的影响比较大了导致的拟合偏差。那么我用柯西吸收的模型运算，拟合偏差较小，那么这种结果是否可靠？
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1楼 2014-06-29 19:33:11
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Aq正传

新虫 (初入文坛)
你好，请问下你的数落拟合问题是怎么解决的

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2楼2016-07-06 18:26:00
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雪砚1

新虫 (初入文坛)
请问你是哪个学校的？你那有椭圆偏振光谱仪？
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3楼2016-09-01 14:49:07
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theoldboy

新虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 雪砚1 at 2016-09-01 14:49:07
请问你是哪个学校的？你那有椭圆偏振光谱仪？

石油大学 华东的

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4楼2016-09-02 12:39:24
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theoldboy

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Aq正传 at 2016-07-06 18:26:00
你好，请问下你的数落拟合问题是怎么解决的

不好意思，今天才看到。说实话，我并没有解决我的困惑。柯西透射和柯西吸收模式都试过了的，最后是只要拟合曲线与实际的点偏差很小，大概是小于0.2左右吧，就按照拟合出来的数据记录了。后来厚度较大的膜，我是做扫描电镜看的断面厚度。如果太薄的膜 比如说几个纳米到几十纳米的 我个人感觉椭偏仪拟合出来的结果还是比较靠谱的，你可以做AFM扫描划痕验证一下。实际上，对于我做的膜，有时候拟合偏差值都很小，但是当你把柯西参数A,B值稍微改变一点点，计算出来的膜厚度差距比较大。

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5楼2016-09-02 12:54:59
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在天涯

铁杆木虫 (知名作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by theoldboy at 2016-09-02 12:54:59
不好意思，今天才看到。说实话，我并没有解决我的困惑。柯西透射和柯西吸收模式都试过了的，最后是只要拟合曲线与实际的点偏差很小，大概是小于0.2左右吧，就按照拟合出来的数据记录了。后来厚度较大的膜，我是做扫 ...

可以考虑薄膜粗糙度的影响，膜越厚粗糙度就会增大。另外，改变参数AB，膜厚差距大主要是因为拟合可能是局域最小
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6楼2018-10-05 20:48:12
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在天涯

铁杆木虫 (知名作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by theoldboy at 2016-09-02 12:54:59
不好意思，今天才看到。说实话，我并没有解决我的困惑。柯西透射和柯西吸收模式都试过了的，最后是只要拟合曲线与实际的点偏差很小，大概是小于0.2左右吧，就按照拟合出来的数据记录了。后来厚度较大的膜，我是做扫 ...

请教一下，能否把仪器使用的详细步骤传授一下。谢谢！
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7楼2018-10-05 20:49:33
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在天涯

铁杆木虫 (知名作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by theoldboy at 2016-09-02 12:54:59
不好意思，今天才看到。说实话，我并没有解决我的困惑。柯西透射和柯西吸收模式都试过了的，最后是只要拟合曲线与实际的点偏差很小，大概是小于0.2左右吧，就按照拟合出来的数据记录了。后来厚度较大的膜，我是做扫 ...

可否告知测量薄膜时的仪器使用步骤？
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8楼2018-10-05 20:50:44
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