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请问大家有没有关于Si-Ga回熔刻蚀反应的相关文献，我想了解机理。 已有1人参与
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在Si基外延生长GaN时通常会发生Si-Ga回熔刻蚀反应，想问问大家有没有关于Si-Ga回熔刻蚀反应的相关的介绍文献，我想了解一下其中的机理。 谢谢大家！ |
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