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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请问大家有没有关于Si-Ga回熔刻蚀反应的相关文献，我想了解机理。
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liuboting

新虫 (小有名气)

[求助] 请问大家有没有关于Si-Ga回熔刻蚀反应的相关文献，我想了解机理。 已有1人参与

在Si基外延生长GaN时通常会发生Si-Ga回熔刻蚀反应，想问问大家有没有关于Si-Ga回熔刻蚀反应的相关的介绍文献，我想了解一下其中的机理。
谢谢大家！
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1楼 2014-06-26 17:06:36
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happy3236

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
找Si基GaN材料生长的文献，这类报道太多了
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2楼2014-06-28 20:00:50
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liuboting

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by happy3236 at 2014-06-28 20:00:50
找Si基GaN材料生长的文献，这类报道太多了

嗯，我在做这方面，文献中只是说会发生SiGa回熔刻蚀反应，我想了解了解具体的机理。
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3楼2014-07-03 21:52:42
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happy3236

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by liuboting at 2014-07-03 21:52:42
嗯，我在做这方面，文献中只是说会发生SiGa回熔刻蚀反应，我想了解了解具体的机理。...

搜全面点，很多文献中都说机理了

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2014-07-03 23:39:30
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