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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 磁控溅射的SiO2电阻率大概是多少量级？
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zhoujiaohust

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射的SiO2电阻率大概是多少量级？ 已有1人参与

有没有人测试过磁控溅射SiO2的电阻率大概是多少呢？求助啊~~~~
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1楼 2014-06-25 11:13:11
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
zhoujiaohust: 金币+20 2014-07-10 15:18:47
在 何乐年 等人的“反应RF磁控溅射法制备非晶氧化硅薄膜及其特性研究”（“真空” ，2001年6月 第三期）上有射频磁控溅射制备的非晶氧化硅薄膜的电阻率在10的13次方数量级。
在百度文库“二​氧​化​硅​薄​膜​的​制​备​及​检​测”一文中，干氧法制备的二氧化硅薄膜的电阻率在10的16次方数量级。
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2楼2014-06-25 16:01:19
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