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zhoujiaohust

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[求助] 磁控溅射的SiO2电阻率大概是多少量级? 已有1人参与

有没有人测试过磁控溅射SiO2的电阻率大概是多少呢?求助啊~~~~
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peterflyer

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peterflyer


【答案】应助回帖

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zhoujiaohust: 金币+20 2014-07-10 15:18:47
在 何乐年 等人的“反应RF磁控溅射法制备非晶氧化硅薄膜及其特性研究”(“真空” ,2001年6月 第三期)上有射频磁控溅射制备的非晶氧化硅薄膜的电阻率在10的13次方数量级。
在百度文库“二​氧​化​硅​薄​膜​的​制​备​及​检​测”一文中,干氧法制备的二氧化硅薄膜的电阻率在10的16次方数量级。
2楼2014-06-25 16:01:19
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