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汕头大学海洋科学接受调剂
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付付得真

金虫 (正式写手)

[求助] GaAs片上光刻失败后,衬底二次利用,但是出现了漂胶!怎么办? 已有2人参与

如题所述,光刻胶用的是shipley -9912正性光刻胶。
光刻失败的GaAs片的处理方式是:
1、丙酮 超声15min ;异丙醇 超声15敏;去离子水清洗40遍
我用光学显微镜在100X下观察,还是有残胶,于是用棉签沾着丙酮又擦了擦片子,而后重复1的步骤。
2、热板120℃,30min加热。
3、匀胶1300rpm/10s, 甩胶4500rpm/40s
结果居然漂胶了!!!

另外,我之前刚刚拿到新的衬底片时,显影大概在10s就会出图案,而且比较均匀;但是将曝光过的GaAs片
二次利用是就出现了上面的问题。

PS:在用新的GaAs衬底片实验时,湿度大概在50~60;
        使用二次利用的GaAs衬底片时,湿度会大一些,(最近老下雨)。
        湿度的影响会这么大吗?
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当你当年

新虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 付付得真 at 2014-06-19 17:02:53
请问EBR是神马?...

Edge Bead Rinse
10楼2019-07-16 10:33:37
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你说的飘胶是光刻前还是光刻后
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
2楼2014-06-18 23:18:10
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付付得真

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2014-06-18 23:18:10
你说的飘胶是光刻前还是光刻后

光刻完显影的时候
3楼2014-06-19 11:12:09
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 付付得真 at 2014-06-19 11:12:09
光刻完显影的时候...

那你后烘的温度大一点,时间长一点看看
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
4楼2014-06-19 16:45:09
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