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shuitong110

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[求助] 半导体工艺仿真软件TCAD 咨询

这个软件可以仿真硅波导表面经过热氧化过程后的粗糙度变化吗？

是不是只可以仿真热氧化工艺后的膜厚表面粗糙度的变化（nm量级）软件仿真结果有这个相关信息吗？

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1楼 2014-06-05 21:01:19

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shuitong110

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引用回帖:

2楼: Originally posted by a370910527 at 2014-06-06 14:55:37
帖子要沉啦啦啦啦啦

都沉了好久了。。。哎。。。

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3楼2014-06-06 16:26:29

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a370910527

木虫 (正式写手)

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帖子要沉啦啦啦啦啦

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2楼2014-06-06 14:55:37

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