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shuitong110

银虫 (小有名气)

[求助] 半导体工艺仿真软件TCAD 咨询

这个软件可以仿真硅波导表面经过热氧化过程后的粗糙度变化吗?

是不是只可以仿真热氧化工艺后的膜厚 表面粗糙度的变化 (nm量级)软件仿真结果 有这个相关信息吗?
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a370910527

木虫 (正式写手)

帖子要沉啦啦啦啦啦
2楼2014-06-06 14:55:37
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shuitong110

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by a370910527 at 2014-06-06 14:55:37
帖子要沉啦啦啦啦啦

都沉了好久了。。。哎。。。
3楼2014-06-06 16:26:29
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