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shuitong110银虫 (小有名气)
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半导体工艺仿真软件TCAD 咨询
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这个软件可以仿真硅波导表面经过热氧化过程后的粗糙度变化吗？ 是不是只可以仿真热氧化工艺后的膜厚 表面粗糙度的变化 （nm量级）软件仿真结果 有这个相关信息吗？ |
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a370910527
木虫 (正式写手)
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2楼2014-06-06 14:55:37
shuitong110
银虫 (小有名气)
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3楼2014-06-06 16:26:29