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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 求高人指点，我做了一个SiO2/Si的MIS结构，测其C-V,可是测不出来是怎么回事啊
汕头大学海洋科学接受调剂
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3080qhl

金虫 (初入文坛)

[求助] 求高人指点，我做了一个SiO2/Si的MIS结构，测其C-V,可是测不出来是怎么回事啊 已有1人参与

Si是重掺的p型Si，SiO2层厚300nm。测试如下图：


C-V曲线没有下降，有没有哪位虫友遇到过类似的情况啊，求指点。
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1楼 2014-05-23 13:34:27
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3080qhl

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xizisixian at 2014-05-24 21:36:07
会不会是绝缘层太厚了   还有你的测试频率是多少，重掺多少呢？导电率太高就可能失去半导体特性

测试频率：1MHz,
SiO2我是买来的，具体掺杂浓度不知，不过它的电导率为：0.001~0.005ohm.cm
您之前是否也遇到过类似的问题啊？
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4楼2014-05-25 13:58:57
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xizisixian

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
会不会是绝缘层太厚了   还有你的测试频率是多少，重掺多少呢？导电率太高就可能失去半导体特性

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学会奋斗，并且学会生活。
3楼2014-05-24 21:36:07
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