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3080qhl

金虫 (初入文坛)

[求助] 求高人指点,我做了一个SiO2/Si的MIS结构,测其C-V,可是测不出来是怎么回事啊已有1人参与

Si是重掺的p型Si,SiO2层厚300nm。测试如下图:


C-V曲线没有下降,有没有哪位虫友遇到过类似的情况啊,求指点。
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11332037

铜虫 (小有名气)

不知道啊。。
OOXX
2楼2014-05-24 17:17:04
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xizisixian

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
会不会是绝缘层太厚了   还有你的测试频率是多少,重掺多少呢?导电率太高就可能失去半导体特性

[ 发自小木虫客户端 ]
学会奋斗,并且学会生活。
3楼2014-05-24 21:36:07
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3080qhl

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by xizisixian at 2014-05-24 21:36:07
会不会是绝缘层太厚了   还有你的测试频率是多少,重掺多少呢?导电率太高就可能失去半导体特性

测试频率:1MHz,
SiO2我是买来的,具体掺杂浓度不知,不过它的电导率为:0.001~0.005ohm.cm
您之前是否也遇到过类似的问题啊?
4楼2014-05-25 13:58:57
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