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kevin_yuan银虫 (初入文坛)
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[求助]
哪里或哪个实验室可以做硅片的改性？上海的或上交的最好，有偿帮忙（20金币奉上） 已有1人参与
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http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=7418145&target=self&page=1 接着这个帖子的。我不是这一行的，自己买材料做硅片疏水一方面费时费力，一方面可能效果还不好。所以请各位帮忙或提供信息，有偿帮忙做几片疏水处理的硅片。我的要求就是接触角大于90°，大多少我自己心里也没谱。另外，我要求的是做成表面改性（我的实验只是需要硅片疏水处理，不需要在其上做光刻或其他工艺），希望可以重复使用（具体这个我不太懂，不知道改性之后是否可以重复使用）。 另外，我想了解下，是否疏水处理会影响硅片的导电性？ 请大家帮忙，如果是上海的高校（尤其是上交）或研究所最好，有偿劳动，价格可谈。 |
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supernatural: 屏蔽内容, 不允许广告 2014-06-03 13:05:45
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4楼2014-05-18 15:34:19
静静一yi
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- 专业: 半导体光电子器件
2楼2014-05-18 15:21:39
静静一yi
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【答案】应助回帖
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单晶硅本身是疏水的，但是会有原生氧化层，所以会表现的亲水。用HF腐蚀掉原生氧化层，会表现出一定的疏水，但是在空气中一暴露会迅速产生原生氧化层，变的亲水。所以泡完HF最好立即使用。 当然，我们还有很多的方法让硅片表面疏水，比如镀各种疏水薄膜。镀膜会有一定的厚度，那么很多情况下大家不愿意用，所以还会有很多别的方法，比如表面处理。偶联剂是一种常用的方法，在半导体领域，有非常常用和便宜的偶联剂，HMDS，浸泡，涂敷，熏蒸，都可以达到目的。plasma表面钝化处理也是常用的方法，形成碳基的钝化层，类似特富龙，疏水性很好。表面处理形成的薄膜会非常薄，都是纳米水平的。 这些处理不会对硅层电阻有什么影响 |
3楼2014-05-18 15:33:08
