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kevin_yuan

银虫 (初入文坛)

[求助] 哪里或哪个实验室可以做硅片的改性?上海的或上交的最好,有偿帮忙(20金币奉上) 已有1人参与

http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=7418145&target=self&page=1

接着这个帖子的。我不是这一行的,自己买材料做硅片疏水一方面费时费力,一方面可能效果还不好。所以请各位帮忙或提供信息,有偿帮忙做几片疏水处理的硅片。我的要求就是接触角大于90°,大多少我自己心里也没谱。另外,我要求的是做成表面改性(我的实验只是需要硅片疏水处理,不需要在其上做光刻或其他工艺),希望可以重复使用(具体这个我不太懂,不知道改性之后是否可以重复使用)。

另外,我想了解下,是否疏水处理会影响硅片的导电性?

请大家帮忙,如果是上海的高校(尤其是上交)或研究所最好,有偿劳动,价格可谈。
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静静一yi

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静静

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
硅片表面本来就是疏水的,亲。    硅片表现出亲水性是因为硅片表面拿出真空包装后,会与空气中的氧气发生反应,形成一层比较薄的氧化层,但是氧化层是疏松不致密的,厚度很小,SIO2表现出亲水性,一般我们用HF去掉SIO2。
露出硅层,这个一般现做现用,因为时间久了,又会有反应哦~
15501697107
2楼2014-05-18 15:21:39
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静静一yi

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静静

【答案】应助回帖

单晶硅本身是疏水的,但是会有原生氧化层,所以会表现的亲水。用HF腐蚀掉原生氧化层,会表现出一定的疏水,但是在空气中一暴露会迅速产生原生氧化层,变的亲水。所以泡完HF最好立即使用。
当然,我们还有很多的方法让硅片表面疏水,比如镀各种疏水薄膜。镀膜会有一定的厚度,那么很多情况下大家不愿意用,所以还会有很多别的方法,比如表面处理。偶联剂是一种常用的方法,在半导体领域,有非常常用和便宜的偶联剂,HMDS,浸泡,涂敷,熏蒸,都可以达到目的。plasma表面钝化处理也是常用的方法,形成碳基的钝化层,类似特富龙,疏水性很好。表面处理形成的薄膜会非常薄,都是纳米水平的。


这些处理不会对硅层电阻有什么影响
15501697107
3楼2014-05-18 15:33:08
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

supernatural: 屏蔽内容, 不允许广告 2014-06-03 13:05:45
本帖内容被屏蔽

4楼2014-05-18 15:34:19
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