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1970-01-01 08:00:00
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xihuannilww

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 云中材料 at 2014-05-13 06:21:42
有几个可能的原因,要逐步排除,首先在pecvd的前一道工序是否硅片都是干净的,第二是镀氮化硅膜时工艺参数是否合适。第三,镀膜室内是否没有太多沉积物。

前两个可以确定没有问题,电池片是整个面发白,好像只有PE返工片中有,正常片中暂时还没有发现
乘风破浪
3楼2014-05-13 08:19:49
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云中材料

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
xihuannilww: 金币+50, 谢谢 2014-05-13 08:29:25
有几个可能的原因,要逐步排除,首先在pecvd的前一道工序是否硅片都是干净的,第二是镀氮化硅膜时工艺参数是否合适。第三,镀膜室内是否没有太多沉积物。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-05-13 06:21:42
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Sahnrain

铁杆木虫 (正式写手)

是管式镀膜的还是平板镀膜的?
4楼2014-05-14 11:20:21
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xihuannilww

金虫 (初入文坛)

管式,镀膜后颜色无异常,烧结后可以看出,
乘风破浪
5楼2014-05-14 17:19:09
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