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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 能源 » 新能源 » 丝网烧结后，电池片表面发白，测试SEM表现PE氮化硅脱落，请问什么原因那?
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xihuannilww

金虫 (初入文坛)

[求助] 丝网烧结后，电池片表面发白，测试SEM表现PE氮化硅脱落，请问什么原因那? 已有1人参与

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小然

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乘风破浪
1楼 2014-05-12 23:01:37
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云中材料

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xihuannilww: 金币+50, 谢谢 2014-05-13 08:29:25
有几个可能的原因，要逐步排除，首先在pecvd的前一道工序是否硅片都是干净的，第二是镀氮化硅膜时工艺参数是否合适。第三，镀膜室内是否没有太多沉积物。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2014-05-13 06:21:42
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xihuannilww

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 云中材料 at 2014-05-13 06:21:42
有几个可能的原因，要逐步排除，首先在pecvd的前一道工序是否硅片都是干净的，第二是镀氮化硅膜时工艺参数是否合适。第三，镀膜室内是否没有太多沉积物。

前两个可以确定没有问题，电池片是整个面发白，好像只有PE返工片中有，正常片中暂时还没有发现
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乘风破浪
3楼2014-05-13 08:19:49
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Sahnrain

铁杆木虫 (正式写手)
是管式镀膜的还是平板镀膜的？
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4楼2014-05-14 11:20:21
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xihuannilww

金虫 (初入文坛)
管式，镀膜后颜色无异常，烧结后可以看出，
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乘风破浪
5楼2014-05-14 17:19:09
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SerDream

铜虫 (小有名气)
楼主能否给出图片，以及做的相关排查工作以作参考
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Striving for the dream.
6楼2014-05-20 11:11:24
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yuan8863

木虫 (正式写手)

Olivia
能否把你拍的氮化硅脱落的图片拍一张看看
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新能源耕耘人
7楼2016-01-26 13:40:30
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付永煌

新虫 (初入文坛)
你好，我们也有这个问题，希望可以得到你的指点
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8楼2018-05-26 22:46:18
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付永煌

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 云中材料 at 2014-05-13 06:21:42
有几个可能的原因，要逐步排除，首先在pecvd的前一道工序是否硅片都是干净的，第二是镀氮化硅膜时工艺参数是否合适。第三，镀膜室内是否没有太多沉积物。

如果排查出来是制绒的问题，会是什么原因导致的
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9楼2018-05-26 22:51:03
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