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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 有没有虫友做CVD的？CVD镀膜时，有没有可能将基材的温度控制在200度以内的？
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jinwei331

至尊木虫 (文坛精英)
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…………………………
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41楼2014-05-08 07:03:40
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sjmr1221
42楼2014-05-08 08:14:02
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jiangbeishui

金虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
40楼: Originally posted by cord at 2014-05-08 03:57:41
说说具体你是想做哪种稀土氧化物。 氧化物用CVD法做的很少。
可以试试ALD或者粒子束或者电子束沉积

我做的是氧化钆，因为镀层厚度特殊（要双面各达到20多微米），ALD貌似不合适，而且我的基材较薄(100多微米高分子膜），电子束已经试过了，附着力太差，而且应力很大。若CVD能控制基材温度，或许是较好的选择？
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43楼2014-05-08 09:11:41
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gladhongbin

银虫 (正式写手)
★
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给放基材的电极通冷却水。
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44楼2014-05-08 09:38:22
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chyan1102

金虫 (正式写手)
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引用回帖:
39楼: Originally posted by jiangbeishui at 2014-05-07 08:37:43
PVD附着力太差，而且我的基材较薄(100多微米高分子膜），镀层厚度特殊（要双面各达到20多微米），磁控和电子蒸镀都试过了，不太可行。所以只能尝试CVD。...

要不是也试一下溶胶凝胶吧
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45楼2014-05-08 09:52:36
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jiangbeishui

金虫 (著名写手)
引用回帖:
45楼: Originally posted by chyan1102 at 2014-05-08 09:52:36
要不是也试一下溶胶凝胶吧...

这个不太可行吧！
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46楼2014-05-08 14:11:53
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chyan1102

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
46楼: Originally posted by jiangbeishui at 2014-05-08 14:11:53
这个不太可行吧！...

只要功夫深，铁棒磨成绣花针。。。
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47楼2014-05-08 14:19:29
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jiangbeishui

金虫 (著名写手)
引用回帖:
47楼: Originally posted by chyan1102 at 2014-05-08 14:19:29
只要功夫深，铁棒磨成绣花针。。。...

呵呵，这个可磨不起。
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48楼2014-05-08 16:18:51
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盐丁

木虫 (小有名气)
★
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你是什么CVD？常压还是低压或者是什么？反应物是什么？200℃达到反应物的热力学反应温度了吗？

站内联系！！
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49楼2014-05-09 13:57:05
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