有没有虫友做CVD的？CVD镀膜时，有没有可能将基材的温度控制在200度以内的？ - 功能材料 - 交流互助

tzynew

32楼2014-05-06 12:23:27

janrince2

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jiangbeishui(金币+1): 谢谢参与

祝福

33楼2014-05-06 12:30:20

sheng-hao

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有可能，低温cvd温度在100-500范围，另外还要看你镀的材料，至少要在高温下形成气态

机会要自己创造

34楼2014-05-06 19:29:21

jiangbeishui

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34楼: Originally posted by sheng-hao at 2014-05-06 19:29:21
有可能，低温cvd温度在100-500范围，另外还要看你镀的材料，至少要在高温下形成气态

镀的材料是稀土氧化物，熔点2300左右，基材是塑料膜。您觉得有可能吗？

35楼2014-05-06 20:50:54

cord

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PECVD，PVD镀膜都可以温度控制在200度以内。
具体到你长什么膜了

36楼2014-05-07 01:10:35

cord

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35楼: Originally posted by jiangbeishui at 2014-05-06 05:50:54
镀的材料是稀土氧化物，熔点2300左右，基材是塑料膜。您觉得有可能吗？...

稀土材料也有很多啊？一般稀土氧化物的可以用PVD法做，温度低到室温都可以。

37楼2014-05-07 01:12:06

userhung

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38楼2014-05-07 05:45:08

jiangbeishui

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37楼: Originally posted by cord at 2014-05-07 01:12:06
稀土材料也有很多啊？一般稀土氧化物的可以用PVD法做，温度低到室温都可以。...

PVD附着力太差，而且我的基材较薄(100多微米高分子膜），镀层厚度特殊（要双面各达到20多微米），磁控和电子蒸镀都试过了，不太可行。所以只能尝试CVD。

39楼2014-05-07 08:37:43

cord

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说说具体你是想做哪种稀土氧化物。氧化物用CVD法做的很少。
可以试试ALD或者粒子束或者电子束沉积

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jiangbeishui

40楼2014-05-08 03:57:41