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jiangbeishui

金虫 (著名写手)

[交流] 有没有虫友做CVD的？CVD镀膜时，有没有可能将基材的温度控制在200度以内的？

有没有虫友做CVD的？CVD镀膜时，有没有可能将基材的温度控制在200度以内的？
若能受教，不胜感激。谢谢！
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1楼 2014-05-06 11:02:39
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jiangbeishui

金虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
40楼: Originally posted by cord at 2014-05-08 03:57:41
说说具体你是想做哪种稀土氧化物。 氧化物用CVD法做的很少。
可以试试ALD或者粒子束或者电子束沉积

我做的是氧化钆，因为镀层厚度特殊（要双面各达到20多微米），ALD貌似不合适，而且我的基材较薄(100多微米高分子膜），电子束已经试过了，附着力太差，而且应力很大。若CVD能控制基材温度，或许是较好的选择？
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43楼2014-05-08 09:11:41
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kiss20085537
★
jiangbeishui(金币+1): 谢谢参与
1

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-05-06 11:10:56
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zhchzhsh2076
★
jiangbeishui(金币+1): 谢谢参与
6楼2014-05-06 11:28:27
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godweige
★
jiangbeishui(金币+1): 谢谢参与
支持
10楼2014-05-06 11:34:00
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