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guomi32

禁虫 (初入文坛)

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1楼2014-05-05 22:31:08

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yswyx

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【答案】应助回帖

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guomi32: 金币+5 2014-05-09 08:27:12

你这个胶要做40um的话，要涂6次以上至少，工艺参数还要重新调整，重新摸条件，会疯的。还是换胶吧，换SU8或者NR系列的负胶。

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3楼2014-05-06 13:59:42

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exciting73

金虫 (著名写手)

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guomi32: 金币+5 2014-05-09 08:27:15

一般来说这种正胶不太适合多次甩胶，会造成层与层之间粘附力较差，以及后续工艺过程中脱落等问题。另外虽说是允许涂胶厚度在2-10um，但实际上做到10um时转速很低了，表面平整度不是太理想。如多次低转速甩胶后平整度会变得更差。
多次甩胶可以尝试每次甩胶完成后低于软烘温度下烘烤，然后再次甩胶，最后在软烘温度下烘烤。仅供参考。
最好是用一次甩胶可达所需胶厚的正胶。

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2楼2014-05-05 23:16:25

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