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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何用正胶加工出较厚的厚度
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guomi32

禁虫 (初入文坛)
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@静静一yi

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1楼 2014-05-05 22:31:08
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

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guomi32: 金币+5 2014-05-09 08:27:15
一般来说这种正胶不太适合多次甩胶，会造成层与层之间粘附力较差，以及后续工艺过程中脱落等问题。另外虽说是允许涂胶厚度在2-10um，但实际上做到10um时转速很低了，表面平整度不是太理想。如多次低转速甩胶后平整度会变得更差。
多次甩胶可以尝试每次甩胶完成后低于软烘温度下烘烤，然后再次甩胶，最后在软烘温度下烘烤。仅供参考。
最好是用一次甩胶可达所需胶厚的正胶。
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2楼2014-05-05 23:16:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
guomi32: 金币+5 2014-05-09 08:27:12
你这个胶要做40um的话，要涂6次以上至少，工艺参数还要重新调整，重新摸条件，会疯的。还是换胶吧，换SU8或者NR系列的负胶。
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3楼2014-05-06 13:59:42
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guomi32

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4楼2014-05-09 08:28:14
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