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BondMu

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求真空镀膜厚度、纯度均匀性及其影响因素 已有1人参与

求真空镀膜厚度、纯度均匀性及其影响因素
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★
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BondMu(hwweven代发): 金币+2 2014-04-30 22:39:08
影响因素:靶材的纯度与密度、靶材的晶粒度、靶材的晶体学取向、镀膜时间、镀膜室真空度、靶材与基板之间的间距等。
2楼2014-04-29 13:52:36
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