| 查看: 433 | 回复: 0 | ||
[求助]
热蒸发做的30nm Al,出腔后在空气中被氧化?
|
|
热蒸发做的30nm Al,出腔后再空气中被氧化,一般情况下,Al2O3能达到多厚,30nm会被完全氧化完吗?在空气中,Al会被氧化多厚? 如果进行退火,Al或被完全氧化成Al2O3吗,还是AlOx,请问氧化层中有氧空位吗??? |









回复此楼
30