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热蒸发做的30nm Al，出腔后在空气中被氧化？
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热蒸发做的30nm Al，出腔后再空气中被氧化，一般情况下，Al2O3能达到多厚，30nm会被完全氧化完吗？在空气中，Al会被氧化多厚？ 如果进行退火，Al或被完全氧化成Al2O3吗，还是AlOx，请问氧化层中有氧空位吗？？？ |
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