24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1219  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

[交流] 关于光刻曝光能量和焦面的问题 已有1人参与

大家在做光刻之间是不是要找好曝光能量和焦深呢,大家都是用什么方法找出这两个参数的,一起交流一下哈。
  对了,不知大家都用的什么厂家的光刻机呢,有资料一起共享哈。
回复此楼
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-04-22 14:27:03
你用的是stepper?
曝光能量的抓取一般都采用在标准值周围做一堆实验数据点,也就是同一片wafer用不同曝光剂量在不同位置曝光,其他工艺条件比如前烘/显影之类的都是完全一致的,然后再通过显微镜观察抓出最佳的曝 ...

我们一直是用这个方法做的啊,在显微镜下看的好好的,但是在扫描电镜下看到的就是不行啊,显微镜是垂直市场只能看到上表面啊。侧壁根本看不到啊
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
3楼2014-04-22 15:50:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你用的是stepper?
曝光能量的抓取一般都采用在标准值周围做一堆实验数据点,也就是同一片wafer用不同曝光剂量在不同位置曝光,其他工艺条件比如前烘/显影之类的都是完全一致的,然后再通过显微镜观察抓出最佳的曝光剂量。不同光刻机的实现方法不同。
不是简单的曝光能量的问题,实际上牵扯的是工艺窗口,越复杂的工艺,工艺窗口的维数越多,不仅仅是曝光能量的问题。
2楼2014-04-22 14:27:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2014-04-22 15:50:33
我们一直是用这个方法做的啊,在显微镜下看的好好的,但是在扫描电镜下看到的就是不行啊,显微镜是垂直市场只能看到上表面啊。侧壁根本看不到啊...

如果不垂直,线条边沿是有黑边的,因为那里没有光返回镜头。
4楼2014-04-28 16:23:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085600 286分 材料求调剂 +8 麻辣鱿鱼 2026-03-27 9/450 2026-03-29 15:36 by Serene1974
[考研] 一志愿郑州大学,080500学硕,总分317分求调剂 +8 举个栗子oi 2026-03-24 9/450 2026-03-29 13:08 by peike
[考研] 求收留 +5 1943443204 2026-03-28 5/250 2026-03-29 12:11 by 无际的草原
[考研] 356求调剂 +4 gysy?s?a 2026-03-28 4/200 2026-03-29 10:32 by 唐沐儿
[考研] 一志愿北化085600材料专硕275|有文章专利|求调剂 +7 Micky11223 2026-03-25 7/350 2026-03-28 18:34 by 无际的草原
[考研] 压国家一区线,求导师收留,有恩必谢! +7 迷人的哈哈 2026-03-28 7/350 2026-03-28 16:47 by 催化大白
[考研] 一志愿北京工业大学,324分求调剂 +4 零八# 2026-03-28 4/200 2026-03-28 15:01 by 17865157980
[考研] 346求调剂 一志愿070303有机化学 +3 萝卜炖青菜 2026-03-28 3/150 2026-03-28 14:11 by 唐沐儿
[考研] 0703一志愿9,初试成绩:338,四六级已过,有科研经历,求调剂! +4 Zuhui0306 2026-03-25 4/200 2026-03-28 13:07 by 唐沐儿
[考研] 一志愿南京航空航天大学材料学硕求调剂 +3 @taotao 2026-03-28 3/150 2026-03-28 10:26 by JourneyLucky
[考研] 085701环境工程求调剂 +9 多久上课 2026-03-27 9/450 2026-03-28 03:58 by fmesaito
[考研] 考研调剂 +4 Sanmu-124 2026-03-26 4/200 2026-03-27 17:49 by kiokin
[考研] 化学308分求调剂 +8 你好明天你好 2026-03-23 9/450 2026-03-27 14:01 by 杨光于青云
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +4 崔wj 2026-03-26 4/200 2026-03-27 08:04 by chemisry
[考研] 284求调剂 +11 junqihahaha 2026-03-26 12/600 2026-03-27 04:37 by wxiongid
[考研] 333求调剂 +6 wfh030413@ 2026-03-23 6/300 2026-03-26 22:45 by 学员8dgXkO
[考研] 294分080500材料科学与工程求调剂 +4 柳溪边 2026-03-26 4/200 2026-03-26 21:14 by XPU李庆
[考研] 325求调剂 +3 Aoyijiang 2026-03-23 3/150 2026-03-26 20:46 by 不吃魚的貓
[考研] 086003食品工程求调剂 +6 淼淼111 2026-03-24 6/300 2026-03-25 10:29 by 3Strings
[考研] 335求调剂 +4 yuyu宇 2026-03-23 5/250 2026-03-23 23:49 by Txy@872106
信息提示
请填处理意见