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guzhiqing

金虫 (正式写手)

[求助] 关于真空退火的问题 已有1人参与

TiN真空退火时想保持成分基本不变和不被氧化,请问大家在什么环境下退火最好?真空?N2气、Ar气保护?哪个好?为什么?退火时间一般是多少呢?半小时、一小时、2小时?
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
MEMS应用中的TiN薄膜工艺研究
http://www.docin.com/p-274436565.html
2楼2014-04-16 23:12:18
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