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guzhiqing

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[求助] 关于真空退火的问题已有1人参与

TiN真空退火时想保持成分基本不变和不被氧化，请问大家在什么环境下退火最好？真空？N2气、Ar气保护？哪个好？为什么？退火时间一般是多少呢？半小时、一小时、2小时？

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1楼 2014-04-16 19:51:30

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

MEMS应用中的TiN薄膜工艺研究
http://www.docin.com/p-274436565.html

2楼2014-04-16 23:12:18

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