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itiy铜虫 (初入文坛)
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电子束光刻胶PMMA蒸完金后表面不光滑 已有1人参与
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| 电子束光刻胶PMMA蒸完金后表面不光滑，凸凹不平，有褶皱。但金蒸到衬底的温度不是太高，温度不会造成这种现象的。大家有遇到过这样的问题么？交流一下。 |
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2楼2014-04-17 08:00:47
itiy
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 散金: 100
- 帖子: 27
- 在线: 198小时
- 虫号: 2096616
- 注册: 2012-10-30
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2014-04-17 21:28:10
4楼2014-11-23 15:32:47
20