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itiy

铜虫 (初入文坛)

[求助] 电子束光刻胶PMMA蒸完金后表面不光滑 已有1人参与

电子束光刻胶PMMA蒸完金后表面不光滑,凸凹不平,有褶皱。但金蒸到衬底的温度不是太高,温度不会造成这种现象的。大家有遇到过这样的问题么?交流一下。
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Annica

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
蒸发温度是多少,蒸发金厚度及时间是多少。
2楼2014-04-17 08:00:47
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itiy

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Annica at 2014-04-17 08:00:47
蒸发温度是多少,蒸发金厚度及时间是多少。

温度不到100度,大约70-80纳米,蒸了一个小时。
3楼2014-04-17 21:28:10
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木星人士

新虫 (正式写手)

你是蒸镀金之后才曝光显影?后续实验中金膜RMS有变小没呢?
4楼2014-11-23 15:32:47
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