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sdgaotao

木虫 (正式写手)

[求助] 关闭真空泵后,真空腔室内真空度下降 已有2人参与

真空系统,在真空腔室与分子泵间有截止阀,当真空腔室内真空度打到10-4Pa时,关闭截止阀及真空泵后,约10几分钟,真空腔室内真空度降到10-2Pa,正常吗?看以前的帖子说是“一般正常机械泵能抽到几个帕,关泵后升压率小于每小时5帕才算正常”那对于上述的真空度也适应吗?求专家指导,谢谢!
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drg1984

荣誉版主 (著名写手)

奋斗

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
降得太快了,有可能是漏气!
春有百花秋有月,夏有凉风冬有雪。若无闲事挂心头,便是人间好时节。
2楼2014-04-16 11:05:07
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sdgaotao

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by drg1984 at 2014-04-16 11:05:07
降得太快了,有可能是漏气!

哦,谢谢!这种情况能判断是漏气吗?
3楼2014-04-17 21:32:44
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wangjun890

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
sdgaotao: 金币+20, 有帮助 2014-04-18 17:38:42
1.如果真空度一直下降,漏气的可能性较大,
2.如果真空度下降到一定纯度,不降了,说明真空腔不干净,有气原
4楼2014-04-17 22:07:53
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sdgaotao

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by wangjun890 at 2014-04-17 22:07:53
1.如果真空度一直下降,漏气的可能性较大,
2.如果真空度下降到一定纯度,不降了,说明真空腔不干净,有气原

哦,好的,谢谢!
5楼2014-04-18 17:38:29
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JokerXie

铁虫 (小有名气)

6楼2019-12-02 22:18:03
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