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关闭真空泵后，真空腔室内真空度下降 已有2人参与
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| 真空系统，在真空腔室与分子泵间有截止阀，当真空腔室内真空度打到10-4Pa时，关闭截止阀及真空泵后，约10几分钟，真空腔室内真空度降到10-2Pa，正常吗？看以前的帖子说是“一般正常机械泵能抽到几个帕，关泵后升压率小于每小时5帕才算正常”那对于上述的真空度也适应吗？求专家指导，谢谢！ |
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