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关于掺杂硅酸和过硫酸铵的TMAH溶液各向异性湿法腐蚀硅的问题
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我在文献上看到The 2% TMAH solution was mixed with 30 gm/l silicic acid and 5 gm/l of AP whereas the 5% TMAH solution contained 38 gm/l of silicic acid and 7 gm/l AP 看腐蚀速度和表面粗糙度挺好的，可是为啥在他的腐蚀温度下，连这个溶液都配不出来啊，会有很多硅酸颗粒不溶解，常温和80℃都试了。 有人做过这种溶液吗？ 求指教啊~~ |
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