| 查看: 451 | 回复: 0 | |||
[求助]
关于掺杂硅酸和过硫酸铵的TMAH溶液各向异性湿法腐蚀硅的问题
|
|
我在文献上看到The 2% TMAH solution was mixed with 30 gm/l silicic acid and 5 gm/l of AP whereas the 5% TMAH solution contained 38 gm/l of silicic acid and 7 gm/l AP 看腐蚀速度和表面粗糙度挺好的，可是为啥在他的腐蚀温度下，连这个溶液都配不出来啊，会有很多硅酸颗粒不溶解，常温和80℃都试了。 有人做过这种溶液吗？ 求指教啊~~ |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有139人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复