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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ldqsmile

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于掺杂硅酸和过硫酸铵的TMAH溶液各向异性湿法腐蚀硅的问题

我在文献上看到The 2% TMAH solution was mixed with 30 gm/l silicic acid and 5 gm/l of AP whereas the 5% TMAH solution contained 38 gm/l of silicic acid and 7 gm/l AP
看腐蚀速度和表面粗糙度挺好的,可是为啥在他的腐蚀温度下,连这个溶液都配不出来啊,会有很多硅酸颗粒不溶解,常温和80℃都试了。
有人做过这种溶液吗?
求指教啊~~
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