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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » XPS能探测出薄膜中的B元素吗？
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crossgate2

金虫 (小有名气)

[交流] XPS能探测出薄膜中的B元素吗？ 已有6人参与

材料是一种薄膜材料，成分是Ti，O，Ca，P，B。其中B的含量大概只有1%-3%，请问用XPS分析成分时候能探测出B吗？定量分析准吗？
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1楼 2014-04-13 13:41:28
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alanlong2012

木虫 (正式写手)
★
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XPS可以分析B元素
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2楼2014-04-13 14:50:36
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
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老式的X射线光电子谱XPS不行。 现在SEM上配置的最新式的EDS可定性分析铍（4号元素Be）以后的元素。都是不能定量分析的。
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3楼2014-04-13 15:10:37
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crossgate2

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by alanlong2012 at 2014-04-13 14:50:36
XPS可以分析B元素

谢谢回答，再问一下定量分析准吗？
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4楼2014-04-13 15:15:45
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crossgate2

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-13 15:10:37
老式的X射线光电子谱XPS不行。 现在SEM上配置的最新式的EDS可定性分析铍（4号元素Be）以后的元素。都是不能定量分析的。

一般的EDS精度应该比xps还要小吧，最新式的估计学校也没有，那么EBSD可以分析吗？
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5楼2014-04-13 15:16:53
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crossgate2

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-13 15:10:37
老式的X射线光电子谱XPS不行。 现在SEM上配置的最新式的EDS可定性分析铍（4号元素Be）以后的元素。都是不能定量分析的。

说错了，是EPMA
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6楼2014-04-13 15:17:02
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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EPMA和eds原理差不多，都是越轻元素越不准，不建议用这个定量，可以试试二次离子质谱啥的
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7楼2014-04-14 00:02:24
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刺客yl

铁虫 (正式写手)
★
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很遗憾的告诉你……不行。你可以用质谱分析
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8楼2014-04-14 09:24:10
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windyswust

木虫 (著名写手)
★
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书上介绍 7以下的貌似不可以吧。 为什么不用SIMS呢，这个好像比较多，还有用半导体电化学的方法，也可以估量出，不过都不是很准，另外XPS也不是很准
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一步一个脚印
9楼2014-04-14 10:38:21
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longseaker

捐助贵宾 (小有名气)
SIMS，和eels
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10楼2014-04-18 22:07:58
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