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玲子bettina

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片自组装镀膜前的亲水处理

各位大侠,请教一下,我把硅片用碱法刻蚀工艺腐蚀成了具有一定高度的图形,然后氢氟酸清洗一分钟,接下来用双氧水/氨水做亲水处理,以便后续自组装镀膜,可是在做亲水处理时,硅片表面一直冒气泡,疑似硅与溶液发生了反应,请问这个亲水反应过程会不会把我刻蚀成的图形给毁掉啊,图形高度大概有几百nm?
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azuoin

铜虫 (初入文坛)


冒气泡好像是正常现象。 你如果担心腐蚀,测个膜厚就知道了。
2楼2014-05-05 09:57:40
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wdlnjau

银虫 (小有名气)

硅片是不能用HF处理的,会反应的
我们的心憧憬着未来,有的时候,现实也许会令我们沮丧,但是这一切都是暂时的、转瞬即逝的,而那些逝去的,终将变得可爱和美好。
3楼2014-11-13 09:31:44
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