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漫江碧透木虫 (正式写手)
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[交流]
关于CMP中材料去除速率的计算
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| 最近开始接触化学机械抛光（CMP)课题，读了好多文献，每个文献里边都有材料去除速率（MRR)的数据，但是材料去除速率究竟是如何计算的？用哪个公式啊？是计算机软件直接读出来的么？并且不同文献里边MRR的单位还会不一样，MRR的表征有多个方法吗？希望与有过CMP课题研究的虫虫交流下，往不吝赐教。 |
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