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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 【求助】压电薄膜测试仪器 已有1人参与

小白请教一下各路大神,我的压电薄膜样品是Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/顶电极
1.实验室有台Agilent 4294A,现在只能测陶瓷样品,请问有没有啥探针台推荐,连上后可以测试压电薄膜样品呢?
2.有没有便宜一点的国产压电系数测试仪器推荐?现在只有一台测陶瓷的声学所的ZJ-3AN
非常感谢!!
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lzh_laubert

银虫 (正式写手)

薄膜压电都是通过做PFM来说的。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2014-09-12 02:25:31
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lfaitaoyao

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
FLYFWY(ivansdk代发): 金币+5, 三个月以上未发放。 2014-08-29 09:35:47
南京大学吕笑梅老师组有的。薄膜和陶瓷都可以测

[ 发自小木虫客户端 ]
科研啊,累啊累
3楼2014-04-30 00:13:56
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ivansdk at 2014-04-29 21:52:44
你哪个学校的?

我是中科院成都光电所的,请问您那里有测压电薄膜的仪器吗?
4楼2014-05-04 21:18:34
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ivansdk

木虫 (正式写手)

优秀版主

离得有点远,有PFM可以试一下。
莫问前程
5楼2014-05-10 12:11:01
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