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[求助] 0.75at.%是怎么算的

制备Al掺杂ZnO薄膜时,Al片被贴在Zn靶上,若Al片占Zn靶的有效面积为2%,文献上说Al含量为0.75at.%。请问0.75at.%是怎么算的?这个含量与Al的相对原子质量有关么??

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