24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

chengqiankk

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1122
散金: 111
红花: 1
帖子: 75
在线: 140.4小时
虫号: 1557327
注册: 2011-12-30
性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

[求助] PLD生长PZT薄膜一直生长不出来，跪求解答！！！！！！！！！已有1人参与

我的PLD生长PZT的条件是：准分子激光器（248nm），8Hz，300mj，4000个脉冲，550℃下沉积（真空腔是沈科仪的），压强25Pa，原位退火750℃下20min。得到的xrd图谱在附件里，从XRD中可以看出来得到的薄膜物相根本就不对，跪求高手解答！！！！！！！！！！

5HA2@B4CU64{A`I`{19FHF0.jpg

回复此楼

» 猜你喜欢

博士读完未来一定会好吗已经有6人回复
小论文投稿已经有3人回复
Bioresource Technology期刊，第一次返修的时候被退回好几次了已经有9人回复
心脉受损已经有3人回复
到新单位后，换了新的研究方向，没有团队，持续积累2区以上论文，能申请到面上吗已经有8人回复
申请2026年博士已经有6人回复
请问哪里可以有青B申请的本子可以借鉴一下。已经有5人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

制备MOF-5的薄膜遇到问题已经有10人回复
【求助】本人想用溶胶凝胶法制备PZT薄膜，但是看文献有个reflux（回流）过程，不知这� 已经有15人回复

精于心，简于形

1楼2014-04-07 16:52:15

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

saiwing

金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1190.6
散金: 148
红花: 2
帖子: 276
在线: 303.1小时
虫号: 1574906
注册: 2012-01-12
性别: GG
专业: 声学

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

550度应该部分得到perovskite，兼有pyrochlore。从XRD上感觉29度那个峰应该是Pyrochlore的样子。奇怪怎么750度还有pyrochlore？也可能是PbO或者PbTiO3shift了。

不过我sputtering一般回火都是650度，750度略高了吧？而且550度原位deposition会大量损失Pb吧，PLD我不了解。

建议你度个1um，回火之前测一下stiochiometry是不是你预期的范围，我怀疑是Pb deficiency